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践行中国智造 引领半导体设备国产化

幸运快三:puxingdz 上传更新:2019-08-26
 11月16日,幸运快三科技股份有限公司与北方华创科技集团股份有限公司在石家庄举行硅外延设备国产化技术交流会暨合作研发国产外延设备全面量产总结交流大会。普兴电子总经理陈秉克、副总经理薛宏伟、副总经理高淑红、北方华创副董事长耿锦启、副总裁吴军、副总裁纪安宽出席会议,双方团队约50名技术人员参加了本次会议。
  会议由北方华创马志芳博士主持,在技术交流正式开始前,北方华创吴军副总裁首先介绍了华创与普兴多年的合作历程和双方的发展进程。普兴公司副总经理薛宏伟也对国产设备近些年的发展和进步给出了高度的评价,从最开始2013年的第一台国产外延炉,到2018年的第51台腔外延炉,从最开始机台良率40%到如今单个机台良率超过99%,从最开始的多片设备到现在的单片设备,这些都展示着普兴电子与北方华创在外延设备国产化的重要历程,薛宏伟还指出双方只有通过不断的交流,才能共同进步,实现互利共赢。
  会上双方技术人员继续就硅外延炉的机械、电气、软件、工艺原理等方面进行了热烈的交流与讨论:北方华创对他们的SiC涂层技术、清洗机技术等研发新方向进行了介绍;普兴电子工程师就单片炉、多片炉等多款外延炉的使用体验进行介绍和交流,在工艺、设备、使用体验方面与进口外延炉综合比较打分,对机台的优势及现存问题进行了客观的评价。
  技术交流结束后,北方华创副董事长耿锦启对各位主讲人的精彩报告给予了充分肯定,对外延设备的国产化进行了回顾及展望,对普兴电子在外延设备国产化进程中给予的帮助和支持表示衷心的感谢。
  会议最后普兴电子总经理陈秉克深刻分析了中国半导体产业严峻的经济形势,并指出半导体设备及原材料的国产化必须加速推进,只有掌握核心技术的自主知识产权,产业才能稳步健康发展。普兴电子将会顺应时代潮流,把握产业方向,在12英寸硅外延和碳化硅等新型半导体材料方面与新老朋友一起共同协作开启新的篇章。

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