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产品服务


1、CMOS,分立器件,功率器件, GeSi和埋层等外延
2、外延片直径:100、125、150、200 mm
3、月生产能力30万片以上    
4、10级洁净厂房
5、外延炉:
  LPE3061
  LPE2061S
  CSD EpiPro 5000
  ASM Epsilon2000
  630A
  680A
  E200C
6、硅源:
  三氯氢硅
  二氯氢硅
7、掺杂物:
  硼烷
  磷烷
  砷烷
8、生长模式:
  常压
  减压
9、客户特定参数
10、碳化硅外延
  4英寸N型
  6英寸N型
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